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加热水洗设备(Het&Wet scrubber）

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类别：Local Scrubber尾气设备

加热水洗设备(Het&Wet  scrubber）

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加热水洗设备(Het&Wet  scrubber）

222

参数名称 参数值
处理气体： PFCS气体（NF3、CF4、C5F8、SF6）、CL2、HCL、HF、HBr、BCL3、BF3、SICL4、SIF4、SIH4、DCS、TCS
处理量： 500-1500SLM

advantage

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